Адрес:
630501,Новосибирская обл.,
п. Краснообск, а/я 468

sibfti.n@ngs.ru
sibfti@sorashn.ru
www.sibfti.sorashn.ru

Телефоны:
  8-(383)348-16-95 - приёмная,
  8-(383)348-35-52 - факс

Фестиваль науки

ФАНО РФ

новый

Датчики. Перспективные направления развития


УДК 681.586 (075.8)
А 458

Алейников А. Ф., Гридчин В. А., Цапенко М. П.


Датчики. Перспективные направления развития


Учеб. пособие – 2 изд., перераб. и доп./ Под ред. проф. М. П. Цапенко. – Новосибирск: Изд-во НГТУ, 2003. – 286 с.

Рецензенты: д-р техн. наук, проф., акад. Метролог. академии Б. М. Рогачевский; д-р техн. наук, проф., чл-корр. АН Молдовы, акад. Междунар. академии информатизации И. Ф. Клисторин

Книга издана при содействии Президиумов СО РАСХН и СО РАН

В пособии приведены классификация и алгоритмы восприятия физических величин и формирования измерительных сигналов в датчиках. Раскрыты понятия многомерных, многофункциональных и многоступенчатых датчиков. Даны сведения о биологических датчиках.
Рассмотрены основы и возможности микроэлектронной технологии изготовления датчиков.

Книга предназначена для студентов, изучающих измерительную, информационную технику, автоматику и микроэлектронику.

СОДЕРЖАНИЕ

Предисловие

5

ОПРЕДЕЛЕНИЕ ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ТЕРМИНОВ

7

ГЛАВА 1. ОСНОВНЫЕ ПОНЯТИЯ И ОПРЕДЕЛЕНИЯ

16

1.1. Датчики. Сенсоры. Чувствительные элементы

16

1.2. О классификации датчиков

19

Список литературы к главе 1

31

ГЛАВА 2. ОДНОМЕРНЫЕ МНОГОСТУПЕНЧАТЫЕ ДАТЧИКИ

33

2.1. Варианты построения и метрологические характеристики

33

2.2. Автоматизация поиска набора последовательности физических явлений

50

2.2.1. Основные положения

50

2.2.2. Методы поиска структуры

59

2.2.3. Результаты поиска принципов действия многоступенчатых датчиков

69

Список литературы к главе 2

71

ГЛАВА 3. МНОГОМЕРНЫЕ ДАТЧИКИ

74

3.1. Методы разделения входных величин

74

3.2. Двухмерные датчики

75

3.3. Трехмерные датчики

87

3.4. Коррекция погрешностей измерительных сигналов многомерных датчиков

98

Список литературы к главе 3

103

ГЛАВА 4. БИОДАТЧИКИ

107

4.1. Основные понятия и определения

107

4.2. Основные принципы действия и метрологических характеристики

113

Список литературы к главе 4

128

ГЛАВА 5. ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНЫЕ ДАТЧИКИ

130

Список литературы к главе 5

135

ГЛАВА 6. МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДАТЧИКОВ

136

6.1. Основные этапы кремниевой микроэлектронной технологии

136

6.2. Специальные вопросы технологии микроэлектронных датчиков

166

6.3. Технологии соединения элементов конструкции датчика

180

6.4. Применение микроэлектронных технологий для создания датчиков

190

6.5. Тенденции производства микроэлектронных датчиков

213

Список литературы к главе 6

215

Приложение 1

217

Приложение 2

233